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Esta parte de la Norma ISO 14644 especifica los requisitos mínimos para un plan de verificación para la comprobación del funcionamiento de la sala limpia en función de la limpieza del aire mediante la medición de la concentración de partículas, basándose en los parámetros que miden o modifican la concentración de partículas contenidas en el aire. Esta parte de la Norma ISO 14644 no trata la verificación del estado en el que se encuentran otros aspectos tales como las vibraciones o el mantenimiento general de los sistemas de ingeniería. No trata la verificación de la cantidad de partículas que se están fuera del límite inferior especificado del rango de tamaño de partícula, 0,1 mm a 0,5 mm. Las concentraciones de partículas ultrafinas (partículas inferiores a 0,1 mm) se tratarán en una norma independiente.
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